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制造光刻机难度堪比登天?中国华卓精科打破荷兰垄断,突出重围

更新时间:2019-12-06 04:34点击:

  通过华为自研芯片一事,很多人都明白了芯片研发对于智能手机品牌发展的重要性,但同时制造芯片也是一件不可忽略的事情。制造芯片的光刻机市场还牢牢捏在荷兰一家名为ASML企业的手中,按照销售数量统计,

  近日,中国北京华卓精科科技股份有限公司拟登陆科创板,而根据华卓精科官网显示,这家中国企业让人惊喜的地方在于,其生产的光刻机双工件台,打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术上的垄断,成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

  光刻机是制造规模集成电路,也就是手机、电脑等芯片的核心装备。为了能够将设计图形制作到小小的硅片上,并在一颗芯片上集成数十亿、甚至上百亿的晶体管,光刻机需达到十几纳米甚至几纳米的更高的图像分辨率。而对于拥有这样技术的光刻机来说,其实核心部件并不多,就两个,一个是EUV曝光系统,另一个是双工件台。华卓精科所突破的技术就是后者。

  而在EUV曝光系统方面,中国目前主要是中科院长春光机所在研究,从2002年开始,历经多年的发展,也只才交出了32nm线宽的EUV光刻曝光系统。虽然有了不小的突破但与国际先进水平仍有不小的差距。双工件台的研发之路同样充满坎坷。

  围绕双工件台系统的研发,华卓精科的研究团队先后完成了专利申请231项,其中国际发明专利41项,已获得授权122项,培养了一支近200人的研发团队,才建立了高水平研发平台。这才生产出了主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描双工件台光刻机、KrF步进扫描光刻机,单台系列产品应用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等一系列产品。

  从以上介绍的几个方面看来,华卓精科确实在光刻机双工件台技术上拥有着自己核心的优势,但是现在从市场的角度来看,光刻机双工件台的客户主要还是光刻机整机厂商,但是目前近90%的光刻机市场都被荷兰的ASML企业所占据,华卓精科对整个光刻机市场的出货和影响还是非常小的。因此,现在华卓精科只是看上去营收和利润增长非常快,实际的规模相比较荷兰ASML来说非常的微小了。华卓精科一年的营收可能还不如ASML一台EUV光刻机的销售额的1/10高。

  但是如今是技术是整个市场发展的关键,只要拥有了顶尖的技术就不愁市场规模的发展。现在,华卓精科在光刻机双工件台技术上有了突破性的发展,为我国自主研发65nm至28nm 双工件干台式及浸没式光刻机奠定了基础,其战略意义远高于其所带来的营收及利润。随着国产半导体产业发展的飞速发展,国内对于光刻机市场空间约为37.68 亿美元、51.12 亿美元。而在国产替代的大趋势之下,国产光刻机产业有望迎来高速发展。

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